SCR脫硝設備的工藝溫度控制至關重要，反應溫度是850℃，若溫渡過低，NH3的反應不完全，輕易造成NH3泄漏;而溫渡過高，NH3則輕易被氧化為NOx，抵消了NH3的脫除效率。溫渡過高或過低都會導致還原劑的損失和NOx脫除率下降。 
　　SCR工藝設備分兩部門：一部門是還原劑制備區域設備，即氨區，如采用液氨，同SCR工藝相似。另一部門是爐膛噴射設備。工藝設備簡樸。SCR脫硝系統的建設為一次性投資，運行用度低。在脫硝過程中不使用催化劑，不存在增加系統的壓力損失等其他煙氣脫硝技術引起的弊端。

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